一、电阻测试仪测试原理：
当四根金属探针排成一条直线,并以一 定压力压在半导体材料上时,在1, 4两根探针间通过电流I,则2, 3探针间产生电位差V(如图所示)。
根据公式可计算出材料的电阻率:
其中,C为四探针的探针系数(cm),它的大小取决于四根探针的排列方法和针距。
二、仪器操作:
(一)测试的准备:
1 ,将电源插头插入仪器背面的电源插座电源开关置于断开位置;
2,工作方式开关置于'短路"位置电流开关处于弹出位置;
先将电源开关置于开启位置,同量选择开关置于“短路”,出现数字显示,通电预热半小时。
3,将手动测试架的屏蔽线插头与电=气箱的输入插座连接好;
4,对测试样品进行一定的处理(如喷沙,清洁等);
5,调节室内温度及湿度使之达到测试要求。
(二)测试:
先将电源开关置于开启位置测量选择开关置于"短路" ,出现数字显示，通电预热半小时.
1,放好样品压下探失，将测量选择开处置于”刻量”位置，板性开处置于开关上方;
2.选择适当的电压量程和电流量程，数字显示基本为0000”,著末位有数字,可旋转调零调节能好使之显示为0000"; .
3.将工作方式开关置于"1调节"按下电流开关.资动电流调节旋钮,使数字显示为"1000”读值为各电流量程的满量程值;
4.再将性开笑压F.便数显也为1000+1,温出电源开关将工作方式开关置于1或06.28处(探头问距为1.59mm时置于1位置问距为1mm时置于6.28位置):
《师节电流后。上述步疆在以后的肉量中可不必重复:只要调节好后，接下电流开关,可由政显直接读出测量值)
5.若数显爐灭,仅剿”1"表示超出该量程电压值,可将电压量理开关拨到档位;
6,读数后，将性开关拨至另一方,可读出负性时的魔量值，将两次测量值取平均数即为样品在该处的电阻率值。
三、注意事项:
1.压下深头时压力要适中,以免想坏探针。
2.由于样品表面电阻可松分布不均,8量时应对一个样品多测几个点然后取平均置:
3.样品的实际电阻率还与其厚度有关,还需查时中的厚魔修正案数，进行惨正
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